本书以Silvaco TCAD 2012为背景，由浅入深、循序渐进地介绍了Silvaco TCAD器件仿真基本概念、Deckbuild集成环境、Tonyplot显示工具、ATHENA工艺仿真、ALTAS器件仿真、MixedMode器件电路混合仿真以及C注释器等高级工具。